芯片测试

EXFO自动探针台OPAL-MD/OPAL-SD

OPAL-MD 多芯片测试台通过精确、可重复、灵活和快速的硬件为集成光子学提供高性能鉴定。PILOT 软件套件增强了OPAL-MD 硬件功能,提供了一个自动测试台和一个可转化为可操作数据的高质量测量源。这套完整的应用软件是一个支持完整测试和测量流程的平台,可帮助用户提高数据驱动能力。OPAL-MD 与 EXFO 先进的光学测量功能相结合,并对任何第三方仪器开放,是 PIC 测试的完整平台。

产品描述

OPAL-MD - 多芯片探针台

--适用于集成光子学自动化测试探针台

对光子集成电路 (PIC) 进行准确、自动、快速和经济高效的测试,测试结果可追溯。

OPAL-SD - 单裸片自动化探针台

--适用于集成光子器件的半自动测试台

非常精准、可重复、可追溯、快速且灵活的光子集成电路(PIC)测试。


产品特点

  • 在一次自动化测试中对多个切割好的裸片进行表征
  • 完整的 PIC 测试平台,可进行精确、可重复的光学对准和电气探测
  • 利用随附的 PILOT 软件套件进行准备、自动执行(导航、校准、仪器控制)和数据管理(存储、分析)
  • 设计灵活,配有可重新定位的光学和电子射频/直流探头
  • 根据需要提供不同的光学探头选项:多达 6 个电动轴,用于单纤或光纤阵列的表面和边缘耦合

应用领域

  • 从研发、设计验证、工艺开发到试生产
  • 自动测试多项目晶圆(MPW)中的切割出来的多个裸片
  • 深入分析统计电路性能和产量
  • 在任何集成光子平台上进行光电测试:硅光子、磷化铟、III-V、聚合物、异质材料等
  • 与应用无关:电信和数据通信收发器、传感器等

产品规格

卡盘平台运动系统
X、Y轴移动范围100mm
分辨率0.15um
精度1um
Z轴移动范围4.8mm
分辨率0.06um
精度0.6um
Rz轴移动范围15度
分辨率0.00025度
精度0.01度