微加工平台

飞秒激光微加工工作站FemtoLAB

FemtoLAB是一套完整的飞秒激光微加工系统,包含了高性能飞秒激光器、高精度线性定位平台、高可靠振镜扫描系统以及界面友好功能强大的加工软件,是超快微纳加工领域科研及工程开发的高效生产力工具。FemtoLAB可针对各种加工任务进行定制开发,具有足够的灵活性,同时具备扩展和升级的能力以适应新的需求。

产品描述

产品特点:

  • 可加工具有亚微米分辨率的复杂物体
  • 高速和高精度微加工
  • 高效的光束传输和功率控制
  • 高端工业级飞秒激光器
  • 高性能振镜扫描系统
  • 激光脉冲与物体移动在时间和空间的完美同步
  • 独特的软件界面可直接控制所有硬件单元

系统应用

  • 微纳切割、划线、钻孔、打标、焊接
  • 激光表面结构化
  • 选择性激光消融
  • 三维增材制造
  • 光波导刻写
  • 光纤光栅制备

产品参数及应用实例:

工作波长 1030nm,515nm,343nm,257nm
脉冲宽度 40fs – 10ps
重复频率 1kHz – 2MHz
平均功率 高达80W
脉冲能量 高达2mJ
定位精度 ±250nm
行程范围 25mm*25 mm到500mm*500mm(更大范围可定制)

WOP

WOP

WOP

多光子聚合 玻璃与金属焊接 光纤钻孔
WOP
WOP

WOP

玻璃钻孔 直写光波导  选择性激光消融